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光学微电子行业净化工程设计方案分析

对于常规电子厂房洁净室空调的设计，应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案，以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验，对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的，又要初***低的，可以选用柜机+FFU。总之，具体的方案选择根据具体情况而定。

●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚空气过滤器代空气过滤器。

4 以轻钢龙骨作为技术检查空间时，在其空间内敷设维修通道至排出口；

  5 洁净房间及人员洁净室的外墙窗户，要有良好的气密性，有防止漏气及结露的功能；

  6 洁净房间的门窗形状为简单、平滑、不易留存尘土、容易清扫的结构；不要设门槛；并且为防止因潮气产生***或门窗变形，洁净区域内的门窗不能使用木制品；

  7 洁净房间的窗要向空气洁净度级别高的房间方向打开，并为便于一般设备的安装、修理及交换，窗户应有足够的大小；

  8 洁净房间安装门窗的内墙面应平整，尽可能不要窗台。如有窗台，为防止存留尘土，且清扫方便，要尽可能做成斜面；

（1）自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)

（2）换气次数（按上述自净时间要求设计）1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)

优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。

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洁净室作为***重要的功能分区之一，其工程质量直接影响到***的使用和对患者的。要提高***洁净室的工程质量，必须从设计、施工和维护三方面同时重视。

***应用洁净环境广泛的洁净***室，是用空气洁净技术取代传统的紫外线等手段对全过程实行污染控制的现代***室。在洁净***室内，患者率可降低 10 倍以上，从而可以少用或不用会伤害患者系统的。既要无尘又要无菌是洁净***室的特点。